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公司基本資料信息
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日立高分辨熱場發射掃描電鏡 SU3800SE 是一款落地式肖特基熱場發射（ZrO 熱場）掃描電鏡，主打“大樣品-高分辨-全自動”三大特點，適合對超大、超重工業樣品做納米級形貌觀察與缺陷分析。核心性能與配置如下：
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掃描電鏡SU3800SE分辨率
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二次電子像：0.9 nm@30 kV；2.5 nm@1 kV；1.6 nm@1 kV（減速模式）
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放大倍數
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5 × – 600 000 ×（底片倍率）
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電子槍與束流
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肖特基熱場發射電子槍，最大束流 150 nA，加速電壓 0.5 – 30 kV，著陸電壓最低可至 0.1 kV
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樣品倉與馬達臺
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最大樣品尺寸：?200 mm × 80 mm（H），承重 2 kg
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5 軸優中心馬達臺：X 0–100 mm、Y 0–50 mm、Z 3–65 mm、T –20–90°、R 360°
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探測器（標配）
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二次電子探測器(SED)
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頂探測器(TD)
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5 分割背散射電子探測器(BSED)
可選低真空高靈敏度 UVD，支持 6 – 150 Pa 低真空模式，可直接觀察非導電樣品
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自動化功能
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自動電子束對中(ABA)、自動光闌對中(AAA)、自動像散校正(ASA)、自動對焦(AFC)、自動亮度對比度(ABCC)
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多用戶權限管理與可編程自動采集模塊（EM Flow Creator），可一鍵生成“觀察配方”
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應用領域
鋼鐵、汽車、航空航天、電子/半導體、能源、制藥等行業的超大樣品微觀結構控制、異物缺陷分析、失效分析
EDS（Energy Dispersive Spectroscopy）是一種利用不同元素X射線光子特征能量不同的特點來進行成分分析的技術，它廣泛的應用于掃描電鏡和透射電鏡中。當電子束進入樣品后，受到樣品原子的非彈性散射，將其能量傳遞給原子使其某個內殼層的電子被電離，內殼層上出現一個空位，原子處于不穩定的高能激發態，為了恢復到低能的基態，外殼層電子躍遷到內殼層空位，并釋放出特征X射線。
EDS的主要功能包括定性分析和定量分析，通過定性分析可以確定樣品中所含元素的種類，通過定量分析可以確定每種元素的相對含量。EDS可以對樣品的點、線、面進行分析，其最大特點在于高分辨選區分析，結合電鏡的高分辨成像能力，可以對特定區域進行分析。
但是，EDS的空間分辨率受到很多因素的影響，如加速電壓、束流、樣品厚度、密度等等。下圖，為不同加速電壓下電子束在不同材質樣品中的激發區域尺寸模擬圖。從圖中可見，同樣是碳，高加速電壓的激發深度遠遠大于低電壓；對于不同材質的碳和金，同樣的高電壓下重元素金的激發區域小于輕元素的碳。由于EDS所接收的特征X射線均來自于這一激發區域，因此，通過降低加速電壓可以減少激發區域，從而提高EDS的空間分辨率，且輕元素樣品對電壓更敏感。
低電壓EDS分析也會影響EDS的檢測效率，而SU9000的內透鏡設計可以使能譜探頭到樣品的距離更近，從而大大提高能譜探頭的接收固體角，進而提高檢測效率。如圖所示為半導體器件的塊體樣品，通過低電壓（3.5kV）EDS面分析可見不同結構的元素分布，其中的Al和W元素最小尺寸約10nm，實現了高空間分辨率的觀察。
除了低電壓分析外，也可以通過減少樣品厚度來提高EDS的空間分辨率。SU9000獨特的內透鏡設計使其具有高分辨的STEM成像能力，結合EDS同樣可以獲取高空間分辨率的結果。下圖為碳納米管中的催化劑，通過DF-STEM圖像可以看到碳納米管內部的催化劑可以，最小尺寸約1-4nm。通過EDS分析可見較大顆粒含Co元素，而較小顆粒中含Mo元素，其最高空間分辨率達到了1nm。
